拆清作业试卷（C）

Q1:1.器盖距定义：主加热器上沿与（ ）下沿之间的垂直距离。

Q2:2.底加距定义：底部护板上表面与（ ）下表面之间的垂直距离。

Q3:3.坩埚零位定义：（ ）与加热器上沿齐平即为坩埚零位。

Q4:4.坩埚上限定义：坩埚上沿与( )下沿的垂直距离。

Q5:5.坩埚下限定义：( )上沿与托盘下表面的垂直距离。

Q6:6.器盖距：（ ），底加距：（ ）。

Q7:7.坩埚上限距离是（ ）mm。

Q8:8.坩埚下限距离是（ ）mm。

Q9:9.底部保温厚度是（ ）mm。

Q10:10.热场安装标准：主加热器发热圈外径与保温筒内径,测量上沿不同方向的4点，各点偏差≤（ ）mm。

Q11:11.热场安装标准：埚邦外壁与主加热器内径,测量上沿不同方向的4点，各点偏差≤（ ）mm。

Q12:12.热场安装标准：底部保温毡，测量上沿不同方向的4点，各点偏差≤（ ）mm。

Q13:13.保温筒毡裁剪标准：32S热场上保温毡裹制层数为（ ）层，中保温毡裹制层数为（ ）层，下保温毡裹制层数为（ ）层。

Q14:14.保温筒毡裁剪标准：36S热场上保温毡裹制层数为（ ）层，中保温毡裹制层数为（ ）层，下保温毡裹制层数为（ ）层。

Q15:15.软毡厚度标准（ ）mm。

Q16:16.热场安装顺序是（ ）、（ ）。

Q17:17.主加热器评审标准：加热器内径与埚邦外径最小距离≤（ ）mm；或者加热器外径与保温筒内径最小距离≤（ ）mm。两个条件满足其中1个，即可评审退出使用。

Q18:18.主加热器评审标准：发热圈圆周厚度中，某处厚度≤（ ）mm，退出使用。

Q19:19.主加热器评审标准：加热器脚板或发热圈出现裂纹（ ）使用。

Q20:20.埚邦评审标准：埚邦某处腐蚀位置，剩余厚度≤（ ）mm，退出使用；整体掉块贯穿，（ ）使用。

Q21:21.埚邦评审标准：埚邦外壁分层腐蚀严重，局部有分层掉渣，但未贯穿埚邦，掉渣位置≤（ 1 ）个，缺口大小≤（ 10*10 ）mm,继续使用；反之退出。

Q22:22.埚帮裂纹失效评审标准：直臂横向、竖向裂纹长度＞（ ）mm，退出使用，十字交叉裂纹，（ ）退出使用；R弧横向、竖向裂纹长度＞（ ）mm，退出，十字交叉裂纹，（ ）退出。

Q23:23.埚邦埚底匹配评审标准：埚托与R弧埚邦单边配合缝隙应≤（ ）mm；埚托与R弧埚帮两弧面过渡处配合高度差应≤（ ）mm，其它情况由现场人员具体评审而定。

Q24:24.外导流筒评审标准：下沿有裂纹，裂纹长度≥（ ）mm，且内外贯穿，退出使用。未贯穿的继续使用。

Q25:25.热场清理的目的是（ ），为保证炉台正常运行为单晶拉制提供有利条件，同时也是保证单晶品质的必要工序。热场部件清理过程中要在指定的区域内完成，避免污染车间环境。