ThinFlim科PECVD Scrap考试 - 在线考试测评模板

Q1:EGIS长边报警角落碎片，短边拍图无异常，一般与（）关系较大

AK

Out CV

TR Clamp

AP

Q2:（）区间的离子靶突出易导致干涉Glass发生碎片

INCV

AP

Out CV

HDC Out

Q3:（）工序测量膜边后Index关门前L/L需要Abort做Unload

FGI

Multi

PVX

以上素有

Q4:膜边调整时T值变动（）度为1mm

0.013

0.13

0.026

0.26

Q5:GD Burning一般为（）工艺造成

WE

DE

SP

Photo

Q6:长短边小缺口一般为()工艺Tray位置异常导致

WE

DE

SP

Photo

Q7:手动取以下哪个区间的Glass点位容易偏移

OutCV

INCV

L/L

Q8:Port口碎片，确认本工序Index相关性，同时邀请（）科室与前工序共同关注

制造

自动化

photo

Etch

Q9:手柄操作取放片，放片位置为（）

PO01

PO02

PO03

PO04

Q10:PVX机台长边报警Index停留较久未做Load/Unload易导致（）

Cu PT（TFT）SP

SD Remain（P） Circle

AT Invisible TE

AT False TE

Q11:月保时，需查看Robot取片时TR Clamp与Glass的距离

是

否

Q12:Port口碎片时仅需对碎片卡夹检查清洗加测PI，其余port口卡夹可直接flow

是

否

Q13:L/L报警Clamp超时，需确认Glass有无碎片和偏移现象

是

否

Q14:ATM Robot急停需确认Glass在手臂上位置有没有偏移再决定是否继续恢复手臂进行下一步动作

是

否

Q15:HDC有碎片风险需要退片时，可将Glass退到INCV，手动操作Robot将Glass取出放回卡夹

是

否

Q16:交换片失败报警需仔细确认Glass信息和实物是否对的上，假信息删除后设备恢复Auto前需再次确认Glass是否是全的，防止误删其它Glass信息

是

否

Q17:Fishboon UP/Down气管拔掉手臂会自然下垂导致fork上Glass掉落，操作时需保证设备内部没有玻璃

是

否

Q18:PVX长边报警，Index停留较久需要在恢复Index前Abort L/L，退片后执行3-5遍Load/Unload

是

否

Q19:ATM Switch损坏导致ATM sensor常亮，LL无法正常监控大气压，会导致LL在没有达到大气压就开门导致碎片

是

否

Q20:Vacuum Robot长时间未注油或注油方法不对会导致手臂运动卡顿导致碎片

是

否