单晶炉常见故障处理方法

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Q1:部门、工号、姓名

填空1

Q2:抽空困难、泄露过大,原因是什么?

A.炉内干燥 
B.防爆阀密封圈完好 
C.磁流体可能漏气

Q3:晶体划弧原因?

A.重锤摆动 
B.炉底水平对中有偏差 
C.氩气流量不均 

Q4:不是真空泵的故障是?

A.抽空极限低 
B.主泵声音异常
C. 真空泵卡死

Q5:晶体氧化原因?

A.炉体漏水
B. 氩气纯度高 
C.炉内潮
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单晶炉常见故障处理方法
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