LAM Excel Training Test

感谢您能抽出几分钟时间来参加本次答题，现在我们就马上开始吧！

Q1:姓名

填空1

Q2:工号

填空1

Q3:LAM Excel 机型的ATM Robot arm 抓取wafer 的方式是（）

夹持

摩擦力粘附

托持

真空吸附

Q4:LAM Excel 机型的Load lock 进/出片逻辑是（）

上进下出

下进上出

Q5:LAM Excel 机型中，反应完的wafer在（）冷却

下层Load lock

上层Load lock

Cooling Station

ATM Robot

Q6:LAM Excel 机型的上下Load lock 晶圆托持机构分别是（）

fix pin/bracket

bracket/bracket

bracket/fix pin

fix pin/fix pin

Q7:4-Station 的Process chamber，产出的晶圆（）指标较好

THK

Range

都是

Q8:LAM Excel 机型的VTM Robot arm 抓取wafer 的方式是（）

上进下出

下进上出

Q9:LAM Excel 机型的Heater 可以上下做动

正确

错误

Q10:LAM Excel 机型通过RF Match 将 RF Power 分配给4个Station

正确

错误

Q11:LAM Excel 机型不使用Chiller，只使用PCW

正确

错误

Q12:Spindle 的旋转方向是顺时针

正确

错误

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